Bộ nguồn Longlife Compact Excimer VUV 172nm cho wafer 6” và mặt nạ đèn

Đèn Excimer nhỏ gọn, làm mát bằng không khí với chiều dài đèn 160mm. Thiết bị này được thiết kế để chiếu xạ bước sóng VUV 172. Thiết bị có chi phí thấp và hiệu suất cao nhờ cấu trúc hệ thống đơn giản. Đèn UV Excimer cho phép xử lý chính xác ở nhiệt độ thấp.

Nguồn sáng Excimer UV 172nm nhỏ gọn, Model E500-172-160

Đèn này tương thích với wafer và đế mặt nạ 6". Thiết bị có cấu hình đơn giản và nhỏ gọn, làm mát bằng không khí đáng tin cậy, và đèn Excimer có tuổi thọ cao, không cần thay thế bóng đèn. *1 Nguồn điện: AC 100V.

Tính năng: Đèn excimer làm mát bằng không khí tuổi thọ cao. Không cần thay thế ống đèn.

Ban đầu, đèn UV excimer không có điện cực bên trong bóng đèn, về mặt lý thuyết là đèn có tuổi thọ cao. Chúng đôi khi được gọi ở nước ngoài là "đèn excimer cố định". Tuy nhiên, trong những năm gần đây, đèn excimer đã trở nên đắt đỏ hơn và có tuổi thọ ngắn hơn do vật liệu ống mỏng hơn và nhẹ hơn, nhiệt độ ống tăng cao và biến dạng thủy tinh do năng lượng tia cực tím gây ra.

*1 Dựa trên nhiều năm kinh nghiệm thực tế và thành tích đã được chứng minh, đèn excimer nhỏ gọn làm mát bằng không khí của Excimer Corporation yêu cầu thay thế định kỳ điện cực ngoài, cáp điện áp cao và các linh kiện điện áp cao để bảo trì, nhưng bản thân ống đèn đắt tiền không cần thay thế. Điều này giúp giảm chi phí và tăng độ tin cậy.

Tính năng

Kiểu làm mát bằng không khí. Dễ dàng lắp đặt.
Chiều dài đèn 160mm
Nguồn điện AC100V 50/60Hz
Tính năng bật/tắt đèn tức thời.

Lý tưởng cho nghiên cứu và phát triển.

Ứng dụng

Khả năng thấm ướt và biến tính bề mặt
Quang hóa
Quá trình gốc OH phản ứng
Loại bỏ chất cản quang
Quá trình UV O3